등록 번호

특허 번호 6050093

등록 날짜

2016 년 12 월 2 일

Shareadd

Iwatani Sangyo Co., Ltd.

기술 개요

[문제] 분해 처리 장치 및 불소 함유 화합물에 대한 분해 처리 장치 및 분해 처리 방법은 분해 처리 방법과 관련이 있으며, 반응 영역에서 처리 된 가스의 흐름 방향에서 중간 영역으로부터 처리 된 가스를 추출하여 반응 영역에서 분해제의 획기적인 역할을 검출하고, 획기적인 제제를 사용하여 혁신적 인 제제를 사용하여 교환 될 수있다. 가스 탐지기. 반응 구역은 반응 실린더에서 처리 될 가스의 흐름 방향을 따라 상류쪽에 형성되고, 흡착 구역은 하류 측에 형성되고, 처리 될 가스는 가스의 흐름 방향으로부터 중간 영역으로부터 추출되어 반응 영역에서 추출되어 불소 가스를 검출한다. 반응 구역에서 처리 될 가스의 추출 부위의 상류 측에서 분해 제제의 돌파구가 감지되고, 새로운 분해 분해 제는 새로운 분해 분해 제로 간헐적으로 또는 지속적으로 채워지며, 획기적인 분해 제는 일반-가스의 분해를 사용하여 분해를 사용하여 분해 에이전트의 획기적인 모니터링을 허용하여, 획기적인 분해 제를 분출 할 수있다.

그림

제공 방법

Sharer의 제품 및 특허 사용

자세한 설명

아님